坐標(biāo)測量是系統(tǒng)用于實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)精度桅頂位，它對于保證坐標(biāo)鏜床的加工精度和實(shí)現(xiàn)自動化起著決定性作用。常用的坐標(biāo)測量系統(tǒng)及其定位精度見表10-6。此外，還有如下幾種坐標(biāo)測量系統(tǒng)。
（1）精密絲杠，以進(jìn)給傳動絲杠作為檢測元件的機(jī)械測量系統(tǒng)，配備有刻度盤和游標(biāo)機(jī)構(gòu)作為讀數(shù)裝置，定位精度可達(dá)1000mm~0.003mm。除個別產(chǎn)品還使用外，其余產(chǎn)品已逐步淘汰。
（2）磁尺，其原理是將等距周期變化的電信號用錄磁磁頭記錄在磁尺上，然后在讀取磁頭將信號讀取。磁尺測量系統(tǒng)讀數(shù)方便，也便于實(shí)現(xiàn)數(shù)顯、數(shù)控、但精度不易提高，定位精度1000mm：0.008mm，高精度磁尺的測量精度可達(dá)（2+2L/100）μm。L為磁尺有效長度(mm)。
（3）激光干涉儀。激光作光源，應(yīng)用光波干涉原理進(jìn)行坐標(biāo)位移測量。靈敏度高，測量基準(zhǔn)可靠，測量精度可達(dá)1000mm:0.002mm或更高。但由于激光測量易受工作環(huán)境（塵埃、振動等）的影響，故只有個別高精度產(chǎn)品采用這種測量系統(tǒng)。
10-6常用的坐標(biāo)測量系統(tǒng)及其定位精度
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測量系統(tǒng) |
結(jié)構(gòu)示意圖 |
結(jié)構(gòu)和使用特點(diǎn) |
定位精度/mm |
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光屏-刻線尺 |
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以刻線尺（金屬線紋尺或玻璃線紋尺）作為檢測元件，利用光學(xué)系統(tǒng)將線紋影象放大，投影于光屏視野中，借助各種測微裝置可讀出毫米以內(nèi)的小數(shù)坐標(biāo)值，能長期保持精度，結(jié)構(gòu)較復(fù)雜。 |
1000：0.003 |
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光柵 |
以標(biāo)尺光柵作為檢測元件，利用光學(xué)系統(tǒng)和光電元件將標(biāo)尺光柵和指示光柵間形成的莫爾條紋信號轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)電子裝置處理后實(shí)現(xiàn)作標(biāo)位移測量。圖示為玻璃透射光柵。讀數(shù)方便，便于實(shí)現(xiàn)數(shù)顯和數(shù)控，適應(yīng)高精度和自動化的要求，光柵尺、光電元件及前置放大器可作成封閉的整體結(jié)構(gòu)，提高抗污染能力 |
1000：0.002 |
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感應(yīng)同步器 |
利用電磁感應(yīng)原理，當(dāng)兩導(dǎo)體的相對位置改變時，他們間的感應(yīng)電勢隨之改變，發(fā)出與位置變化相應(yīng)的電信號，實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)位移測量。讀數(shù)方便，便于實(shí)現(xiàn)數(shù)顯和數(shù)控，抗干擾性強(qiáng)。可測量長距離位移、適合大、中型機(jī)床使用 |
1000：0.003 |
